Значение сопротивления резистора зависит от многих факторов, включая колебания температуры, нестабильность техпроцесса, нелинейности, сопротивление контактов. Другие факторы, такие как температурный и механические градиенты, ориентация, термоэлектрический эффект были рассмотрены ранее.
Нестабильность техпроцесса
Величина сопротивления резистора зависит от его поверхностного сопротивления и от его размеров. Поверхностное сопротивление изменяется из-за разброса толщин слоев, разброса концентрации примеси, различных профилей распределения примеси и разных условий отжига. Размеры резистора могут варьироваться из-за погрешностей фотолитографии и неоднородных скоростей травления.
Разброс ширин топологических слоев может быть измерен как отличие размеров первоначально заданных слоев от размеров, которые получены после процесса фотолитографии. Большинство современных техпроцессов обеспечивают точность воспроизведения ширин слоев не хуже ± 20% от минимальной ширины слоя.
Если известны погрешность поверхностного сопротивления и разброс ширин слоев, тогда погрешность техпроцесса для резистора эффективной ширины We может быть посчитана по следующей формуле:
δR = CL /We + δRs ,
где δR – допустимая погрешность техпроцесса, CL – точность воспроизведения ширин слоев, δRs – величина разброса поверхностного сопротивления.
· Когда точность не важна, используйте резисторы минимальной ширины. Точность таких резисторов составляет ± 50%.
· При средней точности номинала резистора, используйте резисторы в два или три раза большей ширины по сравнению с минимальной. Точность таких резисторов составит ± 35%.
Загрузка...
