Резистор – элемент, обладающий постоянным электрическим сопротивлением. Резисторы используются в большинстве аналоговых схем, для ограничителей тока, деления напряжения и т.д. Хотя абсолютная точность номинала интегральных резисторов невелика (± 30%), различие номиналов двух одинаковых согласованных резисторов может быть очень маленьким (± 0.1%), а при лазерной подгонке может достигать величины менее ± 0.1%.
Большинство техпроцессов позволяют выполнять резисторы в различных слоях. Одни слои используются для получения низкоомных резисторов, другие служат для высокоомных резисторов, при этом точность номиналов резисторов и их температурные свойства сильно варьируются для разных слоев.
На рисунке 1 показана структура простейшего резистора из однородного материала с удельным сопротивлением ρ. К резистору с обоих сторон подсоединены контакты из материала высокой проводимости. Сопротивление резистора вычисляется
Интегральные резисторы выполняются из слоя (материала) постоянной толщины, поэтому в интегральной технологии величину сопротивления резистора принято рассчитывать через поверхностное сопротивление. В случае однородности материала резистора поверхностное сопротивление Rs равно Rs= ρ/t. Тогда сопротивление резистора можно рассчитать по следующей формуле:
R= Rs*L / W
Зачастую величина резистора определяется отношением его сторон (L / W), поэтому принято говорить о так называемом сопротивлении на квадрат (т.е. сопротивлении резистора при W=L), такое сопротивление выражается в Ом/квадрат. Величина сопротивления может быть рассчитана как сумма числа квадратов стороной W, содержащихся в резисторе.
На рисунке 2 изображена топология простейшего резистора, состоящего проводящего материала прямоугольной формы с контактами с обеих сторон.