В настоящее время интенсивно развивается научное направление — микромеханика — одно из наиболее актуальных направлений современной техники. Оно базируется на последних достижениях микроэлектронных технологий и поэтому наследует все преимущества микросхем — низкую стоимость, возможные крупные масштабы практического применения, высокую надежность и воспроизводимость параметров и имеет целью создание ряда уникальных микромеханизмов, микросенсоров и миниатюрных механических конструкций.

1. Основы технологии, моделирование и конструирование микро и наносистемной техники.

1.1. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем.

Отметим, что при создании микросистем фактически выделяют две группы материалов [1]:

1. Конструкционные (стекло, монокристаллический, поликристаллический, пористый кремний, диоксид и нитрид кремния, полиимид, вольфрам, никель, медь, золото, алмазо-подобный углерод), использующиеся для формирования:

· несущих конструкций;

· токоразводки;

· смазки.

2. «Активные умные» (никель/титан, пермаллой, кварц, окись цинка, пьезокерамика, материалы группы А3В5, А4В6), выполняющие за счет электростатических, электромеханических, пьезоэлектрических, магнитных, оптических явлений и эффекта памяти формы функции:

• источников движения;

• механизмов передачи движения;

• сенсорных и активирующих сред.

При создании микросистем различного функционального назначения на основе композиций разнородных материалов должны учитываться следующие параметры:

• кристаллохимическая совместимость;