Как видно из схемы, промежуточным звеном между технологическим моделированием в DIOS и приборным моделированием в DESSIS является программа MDRAW, в которой осуществляется подготовка технологической структуры для приборного моделирования. А именно, установка контактов и оптимизация сетки. Этот этап маршрута необходим, так как сетка, полученная при технологическом моделировании, непригодна для расчета приборных характеристик, а грамотно построенная сетка оказывает большое влияние на результаты приборного моделирования. В MDRAW “заложен” алгоритм построения сетки, позволяющий создавать очень мелкую и точную сетку у поверхности прибора. Сетка строится по слоям, расположенным вдоль поверхности прибора. Приповерхностный слой имеет сетку с наименьшей высотой ячеек. В каждом последующем слое (вглубь подложки) высота ячеек увеличивается по сравнению с предыдущим слоем на некоторый фактор с. Таким образом, чем дальше слой от поверхности, тем сетка в нем более грубая. Такой алгоритм обеспечивает построение оптимальной сетки для приборов с планарной технологией, в частности МОП приборов, для которых токи протекают в основном вдоль поверхности. Кроме того, алгоритм учитывает и то обстоятельство, что наилучшие результаты достигаются, когда линии сетки перпендикулярны потокам носителей.
Программа MDRAW
MDRAW это программа для создания полупроводниковых структур и для оптимизации сетки для приборного моделирования. Для этой цели в MDRAW имеется два редактора:
— редактор геометрии
— редактор легирования.
Рабочее окно в MDRAW
Рабочее окно MDRAW сочетает в себе строку-меню, область средств редактирования, область контактов, область предпочтений, раздел сообщений, индикатор координат и окно для рисования.
Выбор режима редактирования
Вы можете работать в режиме геометрии или режиме легирования, выбрав соответственно опцию Boundary или Doping. MDRAW изменяет строку-меню, область средств редактирования и установки в соответствии с выбранным режимом.
Строка-меню и область средств редактирования
Строка-меню обеспечивает быстрый доступ к командам таким, как создание нового прибора, редактирование прибора или задание информации о легировании прибора.
Область средств редактирования содержит часто используемые для редактирования средства. Вы можете начать работу с тем или иным средством простым нажатием на него левой кнопки мыши.
Область контактов
В этой области собраны средства для работы с контактами. Некоторые из этих средств находятся также в строке-меню.
Область предпочтений
Эта область позволяет регулировать такие настройки среды, как отображение линеек или отображение информации о легировании.
Редактор геометрии (режим boundary).
Начать редактирование структуры в MDRAW можно двумя путями:
1. Создание нового прибора, если необходимо быстро получить прототип прибора или если нет нужды проводить моделирование технологических процессов.
2. Редактирование существующей структуры, если прибор был создан в результате моделирования технологических процессов, например в DIOS.
Открытие файла.
MDRAW может открыть файлы с геометрией, сохраненные в формате DF–ISE Эти файлы обычно имеют расширение *.bnd.
Открывается файл следующим образом.
1. В опции File в строке-меню выбираем Open, выскочит диалоговое окно File Open.
2. Просматривая списки директорий и файлов, выбираем нужный (с расширением bnd).
3. Нажимаем Ok.
Сохранение геометрии
Когда вы открываете структуру в редакторе геометрии, MDRAW делает копию и отображает ее на вашем экране. Любое сделанное вами изменение геометрии прибора содержится в памяти компьютера. Рекомендуется периодически сохранять свой файл.
Сохранение геометрии структуры:
1. В опции File в строке-меню выбираем Save. Если вы первый раз сохраняете структуру, то выскочит диалоговое окно File Save.
2. Выбирете свою директорию.
3. В текстовом окне пишется имя файла.
4. Нажмите Ok.
Вы можете использовать опцию Save As… для создания копии или сохранения под другим именем.
Редактирование структуры
Существует несколько возможностей редактирования структуры: перемещение, удаление и добавление точек, прорисовка областей структуры, изменение типа материала в определенных областях, удаление областей или задание новых контактов.
Определение контактов.
Контакты определяются в MDRAW как совокупность границ. Контакты показываются красными линиями. Контакты могут соприкасаться или совмещаться.
Совмещенные контакты могут быть полезны для определения контактов, которые имеют одинаковое расположение, но по-разному используются при моделировании прибора (например электрические и термические контакты).
Чтобы добавить новый контакт:
1. Нажать Add Contact в меню Contacts. Возникнет диалоговое окно Contacts.
2. Указать название контакта.
3. Нажать Ok.
Чтобы удалить контакт:
1. Нажать Delete Contact в меню Contacts. Возникнет диалоговое окно Delete Contacts.
2. Выбрать название контакта из списка.
3. Нажать Ok.
Чтобы расположить уже определенный контакт на границе структуры:
1. В меню инструментов выберете Set/Unset Contact.
2. Указать место расположения контакта.
Примечание: Если вы укажите область, то контакт установится по границе этой области. Если одной из границ уже соответствовал активный контакт, он будет удален из активных контактов.
Чтобы переименовать контакт:
1. В меню инструментов выберете Information.
2. Укажите контакт.
3. Введите новое название контакта.
Изменение масштаба изображения.
1. В меню инструментов выберите Zoom.
2. Нажмите левую кнопку мыши и, удерживая ее, протяните указатель так, чтобы прорисовался фрагмент, содержащий область, которая подлежит масштабированию.
3. Когда вы отпустите кнопку, вы получите эту область в увеличенном масштабе. Линейки и средства прокрутки окна изменяются так, чтобы отобразить текущее состояние области масштабирования. Если вы не зададите опцию Keep Grid Size, высота и ширина ячеек сетки при каждом масштабировании вычисляются заново, чтобы отобразить 100 на 100 ячеек сетки.
Чтобы сохранить размер ячеек сетки при масштабировании, выберите Keep Grid Size.
Чтобы уменьшить масштаб изображения, выберите Zoom Out в меню View.
Чтобы вернуть изображение в предыдущее состояние, выберите Zoom Reset в меню View.
Отмена изменений.
Используя редактор геометрии, можно отменить любое сделанное изменение. MDRAW позволяет отменить столько изменений, сколько нужно, вплоть до первоначального состояния. Чтобы отменить изменение, выберите Undo из меню Edit.
Чтобы восстановить изменение, выберите Redo в меню Edit.
Загрузка...
