I. Разработка и исследование тепловых узлов ОПНС
1. Обзор способов производства наноструктур ( НС )
2. Обзор методов и систем нагрева поверхностей осаждения наноструктур (НС)
3. Моделирование теплофизических процессов в камере осаждения НС
4. Разработка нагревательных устройств (НУ)
5. Разработка и изготовление НУ и стенда для исследования НУ
6. Исследование НУ
7. Разработка теплового узла ОПНС
II. Разработка базового модуля (БМ) для ОПНС
1. Обзор устройств для осаждения НС CVD методом
2. Моделирование теплонапряженных участков БМ
3. Разработка эскизной документации БМ для ОПНС
4. Изготовление БМ для ОПНС
5. Исследование функциональных возможностей БМ для ОПНС
III. Разработка загрузочного устройства (ЗУ) подложек в CVD реактор
1. Обзор вакуумируемых методов и систем автоматической загрузки подложек в реактор
2. Моделирование процесса загрузки
3. Исследование ЗУ
4. Разработка ЗУ
IV. Разработка и изготовление лабораторного макета для осаждения НС методом CVD
1. Разработка эскизной документации узлов макета
2. Изготовление узлов макета
3. Курирование изготовления макета
4. Монтаж макета
5. Запуск и наладка макета
V. Исследование процесса осаждения НС методом CVD
1. Обзор методов исследования НС
2. Разработка методик исследования НС
3. Исследование конструктивно-технологических параметров (КТП) процесса осаждения
4. Анализ результатов исследования
5. Разработка рекомендаций по оптимизации КТП процесса осаждения НС
Загрузка...
